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超LSIデバイスウェハの平坦化CMPに関する研究 : Cu-CMPにおける平坦化性能
https://doi.org/10.24561/00016616
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名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
KY-AA11808968-02-16.pdf (471.4 kB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2009-06-02 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 超LSIデバイスウェハの平坦化CMPに関する研究 : Cu-CMPにおける平坦化性能 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Cu-CMP | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 織物パッド | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 平坦化 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | ステップハイト | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | デイツシング | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
ID登録 | ||||||
ID登録 | 10.24561/00016616 | |||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||
タイトル(別言語) | ||||||
その他のタイトル | Study on Planarization CMP Technology for ULSI Device Wafers : The Planarity Performance of Cu CMP | |||||
著者 |
小林, 俊裕
× 小林, 俊裕× 多, 久智× 土肥, 俊郎 |
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著者 ローマ字 | ||||||
Toshihiro Kobayashi | ||||||
著者 ローマ字 | ||||||
Hisatomo Ohno | ||||||
著者 ローマ字 | ||||||
Toshiroh K. Doy | ||||||
著者 所属 | ||||||
日本ミクロコーティング株式会社 | ||||||
著者 所属 | ||||||
日本ミクロコーティング株式会社 | ||||||
著者 所属 | ||||||
埼玉大学教育学部 | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Nihon Micro Coating Co., Ltd. | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Nihon Micro Coating Co., Ltd. | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Faculty of Education, Saitama University | ||||||
書誌情報 |
埼玉大学地域共同研究センター紀要 en : Report of Cooperative Research Center, Saitama University 巻 2, p. 60-66, 発行日 2002 |
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年月次 | ||||||
2001 | ||||||
出版者名 | ||||||
出版者 | 埼玉大学地域共同研究センター | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 13474758 | |||||
概要 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 超LSIデバイスの平坦化CMP(Chemical Mechanical Planrizaition)技術の重要性は、微細化と配線の多層化を目指して年々高まってきている。従来の平坦化CMPプロセスでは硬質のポリウレタンからなる研磨パッドとウェハとの間にスラリーを供給しつつ、両者の相対運動で平坦化加工を行なうが厳しい加工精度の要求事項への対応が困難になってきている。そこで本研究では、極細繊維からなる織物の新しい研磨パッドの考案・試作を行ない、とくにCu-CMPにおいて有効と思われる研磨パッド「Upc-160」を開発1)しするとともに、アプレツシブフリー方式のCMP法の可能性を追求し、これまでに研磨性能の調査を行なってきた。今回はさらに平坦化性能について調査を行なったのでここに報告する。 | |||||
資源タイプ | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | text | |||||
フォーマット | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | application/pdf | |||||
作成日 | ||||||
日付 | 2009-06-18 | |||||
日付タイプ | Created | |||||
アイテムID | ||||||
KY-AA11808968-02-16 |