WEKO3
アイテム
{"_buckets": {"deposit": "bf19f683-dd12-4eb1-94b4-63d9ae5444c7"}, "_deposit": {"created_by": 3, "id": "16570", "owners": [3], "pid": {"revision_id": 0, "type": "depid", "value": "16570"}, "status": "published"}, "_oai": {"id": "oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00016570", "sets": ["633"]}, "author_link": ["26935", "26934", "26933"], "item_120_alternative_title_1": {"attribute_name": "タイトル(別言語)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_alternative_title": "Study of Drum Type Polishing Technology : Investigation of correlation between calculated polishing profile and actual polishing profile at each staying position of polishing drum"}]}, "item_120_biblio_info_8": {"attribute_name": "書誌情報", "attribute_value_mlt": [{"bibliographicIssueDates": {"bibliographicIssueDate": "2001", "bibliographicIssueDateType": "Issued"}, "bibliographicPageEnd": "7", "bibliographicPageStart": "3", "bibliographicVolumeNumber": "1", "bibliographic_titles": [{"bibliographic_title": "埼玉大学地域共同研究センター紀要"}, {"bibliographic_title": "Report of Cooperative Research Center, Saitama University", "bibliographic_titleLang": "en"}]}]}, "item_120_date_31": {"attribute_name": "作成日", "attribute_value_mlt": [{"subitem_date_issued_datetime": "2009-06-25", "subitem_date_issued_type": "Created"}]}, "item_120_description_19": {"attribute_name": "概要", "attribute_value_mlt": [{"subitem_description": "次世代CMP(Chemical Mechanical Polishing)装置に対応する研磨方式として、線接触ポリッシング装置の開発を進めている。線接触ポリッシング方法では、連続的な線接触状態の重ね合わせにより研磨が進行し、ウェハに対するドラムの揺動条件を設定することで研磨形状を制御することが可能になる。通常の面接触研磨装置と比べ、研磨部へのスラリー搬送性やウェハーパッド接触状態制御の点で、研磨各部位における研磨状態を精度良く設定することが可能となり、極めて均一な研磨加工が実現できるものと期待されている。\n本研究では、この線接触ポリッシング方式に対し、厳密な揺動評価の前段階としてウェハに対する各ドラム定在位置における研磨形状に関し、理論形状と実際の研磨形状との比較を行った。その結果、ドラムのウェハに対する接触状態を考慮して得た理論形状は実際に得られた研磨形状とほぼ一致し、均一な線接触状態の下で適正な揺動条件を選択することで、均一研磨実現への可能性を見い出した。", "subitem_description_type": "Other"}]}, "item_120_description_29": {"attribute_name": "資源タイプ", "attribute_value_mlt": [{"subitem_description": "text", "subitem_description_type": "Other"}]}, "item_120_description_30": {"attribute_name": "フォーマット", "attribute_value_mlt": [{"subitem_description": "application/pdf", "subitem_description_type": "Other"}]}, "item_120_identifier_registration": {"attribute_name": "ID登録", "attribute_value_mlt": [{"subitem_identifier_reg_text": "10.24561/00016564", "subitem_identifier_reg_type": "JaLC"}]}, "item_120_publisher_11": {"attribute_name": "出版者名", "attribute_value_mlt": [{"subitem_publisher": "埼玉大学地域共同研究センター"}]}, "item_120_source_id_14": {"attribute_name": "ISSN", "attribute_value_mlt": [{"subitem_source_identifier": "13474758", "subitem_source_identifier_type": "ISSN"}]}, "item_120_text_3": {"attribute_name": "著者 ローマ字", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "Takashi Fujita"}, {"subitem_text_value": "Katsuyoshi, Aikawa"}, {"subitem_text_value": "Toshiro Doy"}]}, "item_120_text_32": {"attribute_name": "アイテムID", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "KY-AA11808968-01-02"}]}, "item_120_text_35": {"attribute_name": "公開日(XooNIps)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "Jun 12, 2009 09:00:00"}]}, "item_120_text_36": {"attribute_name": "記録日(XooNIps)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "2009-06-25"}]}, "item_120_text_37": {"attribute_name": "最終更新日(XooNIps)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "Jun 27, 2009 07:51:08"}]}, "item_120_text_38": {"attribute_name": "公開日(XooNIps)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "Jun 12, 2009 09:00:00"}]}, "item_120_text_39": {"attribute_name": "更新履歴(XooNIps)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "Jun 27, 2009 タイトル, タイトル タイトル, 別タイトル を変更"}, {"subitem_text_value": "Jun 27, 2009 別タイトル を変更"}, {"subitem_text_value": "Jun 25, 2009 インデックス, 作成日, 記録日, 抄録 を変更"}]}, "item_120_text_4": {"attribute_name": "著者 所属", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "(株)東京精密"}, {"subitem_text_value": "埼玉大学教育学部"}, {"subitem_text_value": "埼玉大学教育学部"}]}, "item_120_text_40": {"attribute_name": "登録者(XooNIps)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "sucra_jim4"}]}, "item_120_text_41": {"attribute_name": "閲覧数(XooNIps)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "903"}]}, "item_120_text_42": {"attribute_name": "ダウンロード数(XooNIps)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "1051"}]}, "item_120_text_43": {"attribute_name": "XooNIps_インデックス", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "Public/ジャンル別/研究紀要/埼玉大学/地域共同研究センター紀要|sucra_jim4/埼玉大学/murata|Public/埼玉大学/教育学部|Public/主題別/工学/機械工学/生産工学・加工学"}]}, "item_120_text_44": {"attribute_name": "XooNIps_ITEM_KEY", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "4203"}]}, "item_120_text_5": {"attribute_name": "著者 所属(別言語)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "Tokyo Seimitsu Co. Ltd."}, {"subitem_text_value": "Saitama University"}, {"subitem_text_value": "Saitama University"}]}, "item_120_text_9": {"attribute_name": "年月次", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "2000"}]}, "item_creator": {"attribute_name": "著者", "attribute_type": "creator", "attribute_value_mlt": [{"creatorNames": [{"creatorName": "藤田, 隆"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "26933", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}, {"creatorNames": [{"creatorName": "相川, 勝芳"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "26934", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}, {"creatorNames": [{"creatorName": "土肥, 俊郎"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "26935", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}]}, "item_files": {"attribute_name": "ファイル情報", "attribute_type": "file", "attribute_value_mlt": [{"accessrole": "open_date", "date": [{"dateType": "Available", "dateValue": "2018-01-24"}], "displaytype": "detail", "download_preview_message": "", "file_order": 0, "filename": "KY-AA11808968-01-02.pdf", "filesize": [{"value": "376.1 kB"}], "format": "application/pdf", "future_date_message": "", "is_thumbnail": false, "licensetype": "license_free", "mimetype": "application/pdf", "size": 376100.0, "url": {"label": "KY-AA11808968-01-02.pdf", "url": "https://sucra.repo.nii.ac.jp/record/16570/files/KY-AA11808968-01-02.pdf"}, "version_id": "4f283131-89f8-42e2-bb65-4ba3dc8e4305"}]}, "item_language": {"attribute_name": "言語", "attribute_value_mlt": [{"subitem_language": "jpn"}]}, "item_resource_type": {"attribute_name": "資源タイプ", "attribute_value_mlt": [{"resourcetype": "departmental bulletin paper", "resourceuri": "http://purl.org/coar/resource_type/c_6501"}]}, "item_title": "ドラム式線接触ポリッシング法の研究 : ドラム定在位置における理論形状と実研磨形状の比較検討 (超精密加工技術の応用に関する研究) \u003c研究報告\u003e", "item_titles": {"attribute_name": "タイトル", "attribute_value_mlt": [{"subitem_title": "ドラム式線接触ポリッシング法の研究 : ドラム定在位置における理論形状と実研磨形状の比較検討 (超精密加工技術の応用に関する研究) \u003c研究報告\u003e"}]}, "item_type_id": "120", "owner": "3", "path": ["633"], "permalink_uri": "https://doi.org/10.24561/00016564", "pubdate": {"attribute_name": "公開日", "attribute_value": "2009-06-12"}, "publish_date": "2009-06-12", "publish_status": "0", "recid": "16570", "relation": {}, "relation_version_is_last": true, "title": ["ドラム式線接触ポリッシング法の研究 : ドラム定在位置における理論形状と実研磨形状の比較検討 (超精密加工技術の応用に関する研究) \u003c研究報告\u003e"], "weko_shared_id": -1}
ドラム式線接触ポリッシング法の研究 : ドラム定在位置における理論形状と実研磨形状の比較検討 (超精密加工技術の応用に関する研究) <研究報告>
https://doi.org/10.24561/00016564
https://doi.org/10.24561/0001656473165978-c7f8-4c87-ac67-0c8d77f155f4
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
KY-AA11808968-01-02.pdf (376.1 kB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2009-06-12 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | ドラム式線接触ポリッシング法の研究 : ドラム定在位置における理論形状と実研磨形状の比較検討 (超精密加工技術の応用に関する研究) <研究報告> | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
ID登録 | ||||||
ID登録 | 10.24561/00016564 | |||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||
タイトル(別言語) | ||||||
その他のタイトル | Study of Drum Type Polishing Technology : Investigation of correlation between calculated polishing profile and actual polishing profile at each staying position of polishing drum | |||||
著者 |
藤田, 隆
× 藤田, 隆× 相川, 勝芳× 土肥, 俊郎 |
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著者 ローマ字 | ||||||
Takashi Fujita | ||||||
著者 ローマ字 | ||||||
Katsuyoshi, Aikawa | ||||||
著者 ローマ字 | ||||||
Toshiro Doy | ||||||
著者 所属 | ||||||
(株)東京精密 | ||||||
著者 所属 | ||||||
埼玉大学教育学部 | ||||||
著者 所属 | ||||||
埼玉大学教育学部 | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Tokyo Seimitsu Co. Ltd. | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Saitama University | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Saitama University | ||||||
書誌情報 |
埼玉大学地域共同研究センター紀要 en : Report of Cooperative Research Center, Saitama University 巻 1, p. 3-7, 発行日 2001 |
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年月次 | ||||||
2000 | ||||||
出版者名 | ||||||
出版者 | 埼玉大学地域共同研究センター | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 13474758 | |||||
概要 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 次世代CMP(Chemical Mechanical Polishing)装置に対応する研磨方式として、線接触ポリッシング装置の開発を進めている。線接触ポリッシング方法では、連続的な線接触状態の重ね合わせにより研磨が進行し、ウェハに対するドラムの揺動条件を設定することで研磨形状を制御することが可能になる。通常の面接触研磨装置と比べ、研磨部へのスラリー搬送性やウェハーパッド接触状態制御の点で、研磨各部位における研磨状態を精度良く設定することが可能となり、極めて均一な研磨加工が実現できるものと期待されている。 本研究では、この線接触ポリッシング方式に対し、厳密な揺動評価の前段階としてウェハに対する各ドラム定在位置における研磨形状に関し、理論形状と実際の研磨形状との比較を行った。その結果、ドラムのウェハに対する接触状態を考慮して得た理論形状は実際に得られた研磨形状とほぼ一致し、均一な線接触状態の下で適正な揺動条件を選択することで、均一研磨実現への可能性を見い出した。 |
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資源タイプ | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | text | |||||
フォーマット | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | application/pdf | |||||
作成日 | ||||||
日付 | 2009-06-25 | |||||
日付タイプ | Created | |||||
アイテムID | ||||||
KY-AA11808968-01-02 |