WEKO3
アイテム
SiC板の研磨加工におけるダイヤモンドスラリーの加工特性に関する研究(第2報)
https://doi.org/10.24561/00016754
https://doi.org/10.24561/000167540e20619a-4b50-480e-80fd-fd75709473ee
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KY-AA11808968-06-03.pdf (379.2 kB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-03-06 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | SiC板の研磨加工におけるダイヤモンドスラリーの加工特性に関する研究(第2報) | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24561/00016754 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| タイトル（別言語） | ||||||
| その他のタイトル | Study of Diamond Slurries on Polishing of SiC Substrate | |||||
| 著者 |
浜元, 伸二
× 浜元, 伸二× 土肥, 俊郎× 尾形, 謙次郎 |
|||||
| 著者 ローマ字 | ||||||
| 値 | Hamamoto, Shinji | |||||
| 著者 ローマ字 | ||||||
| 値 | Doi, Toshiro | |||||
| 著者 ローマ字 | ||||||
| 値 | Ogata, Kenjiro | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | ユシロ化学工業株式会社 | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 埼玉大学教育学部 | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 埼玉大学教育学部 | |||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||
| 値 | Yushiro Chemical Industry Co., Ltd. | |||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||
| 値 | Faculty of Education, Saitama University | |||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||
| 値 | Faculty of Education, Saitama University | |||||
| 書誌情報 |
埼玉大学地域共同研究センター紀要 en : Report of Cooperative Research Center, Saitama University 巻 6, p. 8-9, 発行日 2006 |
|||||
| 年月次 | ||||||
| 値 | 2005 | |||||
| 出版者名 | ||||||
| 出版者 | 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学連携推進部門 | |||||
| 収録物識別子 | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 13474758 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | text | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 作成日 | ||||||
| 日付 | 2009-03-06 | |||||
| 日付タイプ | Created | |||||
| アイテムID | ||||||
| 値 | KY-AA11808968-06-03 | |||||
