@techreport{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00010964,
 author = {荻窪, 光慈},
 month = {},
 note = {４ 若手研究及び基礎研究, text, application/pdf},
 title = {半導体プロセスにおける超高圧純水洗浄による静電気の発生要因解析とその分析},
 year = {2007},
 yomi = {オギクボ, コウジ}
}