@techreport{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00011350, author = {吉田, 貞史}, month = {}, note = {2 産学官連携研究及び地域連携研究, text, application/pdf}, title = {MBE法による3C−SiC/Si基板上への高品質InNエピ膜の作製}, year = {2007}, yomi = {ヨシダ, サダフミ} }