@techreport{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00011447, author = {土方, 泰斗}, month = {}, note = {4 若手研究及び基礎研究, text, application/pdf}, title = {酸化膜/炭化珪素半導体界面の窒素による界面順位密度低減のメカニズム解明}, year = {2007}, yomi = {ヒジカタ, ヤスト} }