@techreport{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00011526,
 author = {白井, 肇},
 month = {},
 note = {1 先端的研究, text, application/pdf},
 title = {多結晶シリコン薄膜の結晶粒径および位置制御に関する研究},
 year = {2008},
 yomi = {シライ, ハジメ}
}