@techreport{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00011719, author = {土方, 泰斗}, month = {}, note = {プロジェクト番号 : A09-35, 若手展開研究 : カテゴリB, text, application/pdf}, title = {SiC半導体の酸化メカニズム解明に関する研究}, year = {2010}, yomi = {HIJIKATA, Yasuto} }