@techreport{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00011833, author = {白井, 肇}, month = {}, note = {プロジェクト番号 : A11-112, 一般研究 : 外部資金獲得促進研究, text, application/pdf}, title = {大面積電子デバイス応用のための大気圧高温ラインプラズマ源の開発}, year = {2012}, yomi = {シライ, ハジメ} }