@techreport{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00011864, author = {土方, 泰斗}, month = {}, note = {プロジェクト番号 : A11-38, 若手展開研究 : カテゴリB, text, application/pdf}, title = {SiC半導体の酸化界面における酸化誘因欠陥のフォトルミネッセンス評価}, year = {2012}, yomi = {ヒジカタ, ヤスト} }