@techreport{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00011926, author = {田井野, 徹}, month = {}, note = {プロジェクト番号 : A12-28, 若手展開研究 : カテゴリB, text, application/pdf}, title = {MEMS技術を用いたフォトン検出器用オンチップコイルの開発}, year = {2013}, yomi = {タイノ, トオル} }