@techreport{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00011934,
 author = {成瀬, 雅人},
 month = {},
 note = {プロジェクト番号 : A12-37, 若手展開研究 : カテゴリB, text, application/pdf},
 title = {グレースケール露光と深掘りエッチングを用いたシリコンレンズアレイ及びサブ波長反射防止構造の開発},
 year = {2013},
 yomi = {ナルセ, マサト}
}