@article{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00012830,
 author = {土屋, 竜二 and 細田, 隆広 and 中川, 靖夫 and 大谷, 文雄 and 谷治, 環},
 journal = {照明学会全国大会講演論文集},
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 note = {http://ci.nii.ac.jp/naid/110004587052/ | http://ci.nii.ac.jp/naid/110004587052/, rights: 社団法人照明学会
rights: 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである
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 pages = {273--273},
 title = {162.反応性イオンビームスパッタ法によるAIN薄膜の作成とその光学的特性((8)光関連デバイス・ディスプレイ)},
 volume = {29},
 year = {1996},
 yomi = {ツチヤ, リュウジ and ホソダ, タカヒロ and ナカガワ, ヤスオ and オオタニ, フミオ and ヤジ, タマキ}
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