@article{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00013089, author = {高橋, 幸郎 and 瀬戸山, 淳一}, issue = {3}, journal = {電子情報通信学会論文誌. C-II, エレクトロニクス, II-電子素子・応用}, month = {}, note = {Digital Micro-mirror Device (DMD)はマイクロマシニング技術を用いて製作された新しいデイスプレイ素子であり, プロジェクタに応用され, 実用化されている. ここでは, DMDを紫外線露光機として用いることにより, 投影露光機及び光造形への適用を試みた., copyright(c)1999 IEICE許諾番号:08RB0010  http://search.ieice.org/index.html, text, application/pdf}, pages = {92--94}, title = {DMDを用いた紫外線露光機(<小特集>マイクロマシン関連技術)}, volume = {J82-C-II}, year = {1999}, yomi = {タカハシ, コウロウ and セトヤマ, ジュンイチ} }