@article{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00016572,
 author = {三宅, 潔 and 谷敷, 学 and 山下, 睦雄 and 亀井, 龍一郎 and 亀井, 眞吾},
 journal = {埼玉大学地域共同研究センター紀要, Report of Cooperative Research Center, Saitama University},
 month = {},
 note = {text, application/pdf},
 pages = {15--16},
 title = {超高純度金属薄膜作製用非質量分離型IBD装置の開発 <研究報告>},
 volume = {1},
 year = {2001}
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