@article{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00016646,
 author = {浜元, 伸二 and 中田, 秀人 and 土肥, 俊郎 and 横山, 健三},
 journal = {埼玉大学地域共同研究センター紀要, Report of Cooperative Research Center, Saitama University},
 month = {},
 note = {text, application/pdf},
 pages = {1--2},
 title = {CMP用スラリーにおける高分子分散剤の加工特性に及ぼす挙動},
 volume = {3},
 year = {2003}
}