@article{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00016689,
 author = {浜元, 伸二 and 上田, 真司 and 横山, 健三 and 土肥, 俊郎},
 journal = {埼玉大学地域共同研究センター紀要, Report of Cooperative Research Center, Saitama Univerity},
 month = {},
 note = {text, application/pdf},
 pages = {5--6},
 title = {Cu-CMP用スラリーにおける界面活性剤の効果},
 volume = {4},
 year = {2004},
 yomi = {ハマモト, シンジ and ウエダ, シンジ and ヨコヤマ, ケンゾウ and ドイ, トシロウ}
}