@article{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00016729,
 author = {浜元, 伸二 and 土肥, 俊郎},
 journal = {埼玉大学地域共同研究センター紀要, Report of Cooperative Research Center, Saitama University},
 month = {},
 note = {text, application/pdf},
 pages = {5--6},
 title = {SiC基板の研磨加工におけるダイヤモンドスラリーの加工特性に関する研究},
 volume = {5},
 year = {2005},
 yomi = {ハマモト, シンジ and ドイ, トシロウ}
}