@article{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00016785, author = {浜元, 伸二 and 土肥, 俊郎 and 尾形, 謙次郎}, journal = {埼玉大学地域共同研究センター紀要, Report of Cooperative Research Center, Saitama University}, month = {}, note = {text, application/pdf}, pages = {5--6}, title = {SiC基板のダイヤモンドスラリーによる加工特性(第3報)}, volume = {7}, year = {2007}, yomi = {ハマモト, シンジ and ドイ, トシロウ and オガタ, ケンジロウ} }