@misc{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00009272,
 author = {沖田, 光史 and 船越, 真二 and 松田, 隆之 and 高橋, 秀明 and 鶴ヶ谷, 宗昭 and 宮崎, 久遠 and 土肥, 俊郎},
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 title = {Cu CMP用砥粒フリー"ミセルスラリー"の概念及びその特性},
 year = {2003}
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