@misc{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00009339, author = {白井, 肇}, month = {}, note = {2p (スライド10枚), 2007年2月19日(月) 開催, text, application/pdf}, title = {大面積電子デバイス用基盤技術のための大気圧マイクロプラズマ処理装置の開発 : サブミリメーターからメートル級サイズまで}, year = {2007}, yomi = {シライ, ハジメ} }