@misc{oai:sucra.repo.nii.ac.jp:00009761,
 author = {丁, 毅},
 month = {},
 note = {学位記号番号 : 博理工甲第777号, 博士の専攻分野の名称 : 博士(工学)
学位授与年月日 : 平成22年3月24日, text, application/pdf},
 title = {Silicon oxycarbide films fabricated by using an atmospheric pressure microplasma jet - Structural, optical and electrical characterizations -},
 year = {2010}
}