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超高純度金属薄膜作製用非質量分離型IBD装置の開発 <研究報告>
https://doi.org/10.24561/00016566
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名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
KY-AA11808968-01-04.pdf (162.7 kB)
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|
Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2009-06-12 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 超高純度金属薄膜作製用非質量分離型IBD装置の開発 <研究報告> | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
ID登録 | ||||||
ID登録 | 10.24561/00016566 | |||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||
タイトル(別言語) | ||||||
その他のタイトル | Development of Non-Mass-Separated Ion Beam Deposition System for Ultra-high-purity Metal Film Formation | |||||
著者 |
三宅, 潔
× 三宅, 潔× 谷敷, 学× 山下, 睦雄× 亀井, 龍一郎× 亀井, 眞吾 |
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著者 ローマ字 | ||||||
K. Miyake | ||||||
著者 ローマ字 | ||||||
M. Yashiki | ||||||
著者 ローマ字 | ||||||
M. Yamashita | ||||||
著者 ローマ字 | ||||||
R. Kamei | ||||||
著者 ローマ字 | ||||||
S. Kamei | ||||||
著者 所属 | ||||||
埼玉大学大学院理工学研究科環境制御工学専攻 | ||||||
著者 所属 | ||||||
誠商工業株式会社 | ||||||
著者 所属 | ||||||
誠商工業株式会社 | ||||||
著者 所属 | ||||||
誠商工業株式会社 | ||||||
著者 所属 | ||||||
誠商工業株式会社 | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Graduate School of Science and Engineering, Saitama University | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Seinan Industries Co., Ltd. | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Seinan Industries Co., Ltd. | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Seinan Industries Co., Ltd. | ||||||
著者 所属(別言語) | ||||||
Seinan Industries Co., Ltd. | ||||||
書誌情報 |
埼玉大学地域共同研究センター紀要 en : Report of Cooperative Research Center, Saitama University 巻 1, p. 15-16, 発行日 2001 |
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年月次 | ||||||
2000 | ||||||
出版者名 | ||||||
出版者 | 埼玉大学地域共同研究センター | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 13474758 | |||||
資源タイプ | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | text | |||||
フォーマット | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | application/pdf | |||||
作成日 | ||||||
日付 | 2009-06-25 | |||||
日付タイプ | Created | |||||
アイテムID | ||||||
KY-AA11808968-01-04 |