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162.反応性イオンビームスパッタ法によるAIN薄膜の作成とその光学的特性((8)光関連デバイス・ディスプレイ)
https://sucra.repo.nii.ac.jp/records/12830
https://sucra.repo.nii.ac.jp/records/12830477ea77a-9845-4f58-a3d0-23f4e03ad597
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
A1002203.pdf (153.4 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2007-09-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 162.反応性イオンビームスパッタ法によるAIN薄膜の作成とその光学的特性((8)光関連デバイス・ディスプレイ) | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| タイトル（別言語） | ||||||
| その他のタイトル | Preparation of AIN Thin Films by Reactive Ion Beam Sputtering and The Optical Properties | |||||
| 著者 |
土屋, 竜二
× 土屋, 竜二× 細田, 隆広× 中川, 靖夫× 大谷, 文雄× 谷治, 環 |
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| 著者 ローマ字 | ||||||
| 値 | Tsuchiya, Ryuji | |||||
| 著者 ローマ字 | ||||||
| 値 | Hosoda, Takahiro | |||||
| 著者 ローマ字 | ||||||
| 値 | Nakagawa, Yasuo | |||||
| 著者 ローマ字 | ||||||
| 値 | Ohtani, Fumio | |||||
| 著者 ローマ字 | ||||||
| 値 | Yaji, Tamaki | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 埼玉大学工学部 | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 埼玉大学工学部 | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 埼玉大学名誉教授 | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 埼玉大学工学部 | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 埼玉大学大学院理工学研究科数理電子情報部門電気電子システム工学領域 | |||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||
| 値 | Faculty of Engineering, Saitama University | |||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||
| 値 | Faculty of Engineering, Saitama University | |||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||
| 値 | Professors emeritus, Saitama University | |||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||
| 値 | Faculty of Engineering, Saitama University | |||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||
| 値 | Graduate School of Science and Engineering, Saitama University | |||||
| 書誌情報 |
照明学会全国大会講演論文集 巻 29, p. 273-273, 発行日 1996 |
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| 年月次 | ||||||
| 値 | 1996-8 | |||||
| 出版者名 | ||||||
| 出版者 | 社団法人照明学会 | |||||
| 収録物識別子 | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 09191895 | |||||
| 関連サイト | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110004587052/ | http://ci.nii.ac.jp/naid/110004587052/ | |||||
| 注記 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | rights: 社団法人照明学会 rights: 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである relation: isVersionOf: http://ci.nii.ac.jp/naid/110004587052/ |
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| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | text | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 作成日 | ||||||
| 日付 | 2007-09-19 | |||||
| 日付タイプ | Created | |||||
| アイテムID | ||||||
| 値 | A1002203 | |||||
