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アイテム
閃亜鉛鉱構造窒化物半導体のエピタキシャル成長(<特集>安定・準安定:閃亜鉛鉱構造とウルツ鉱構造)
https://sucra.repo.nii.ac.jp/records/13651
https://sucra.repo.nii.ac.jp/records/13651cc14295b-3039-4823-82eb-dd16fe029224
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
A1003560.pdf (1.2 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-10-08 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 閃亜鉛鉱構造窒化物半導体のエピタキシャル成長(<特集>安定・準安定:閃亜鉛鉱構造とウルツ鉱構造) | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| タイトル（別言語） | ||||||
| その他のタイトル | Epitaxial Growth of Zincblende Nitride Semiconductors(<Special Issue> Stable or Metastable: Zinc Blende and Wurtzite Structures) | |||||
| 著者 |
矢口, 裕之
× 矢口, 裕之 |
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| 著者 ローマ字 | ||||||
| 値 | Yaguchi, Hiroyuki | |||||
| 著者 所属 | ||||||
| 値 | 埼玉大学大学院理工学研究科 | |||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||
| 値 | Graduate School of Science and Engineering, Saitama University | |||||
| 書誌情報 |
日本結晶成長学会誌 en : Journal of the Japanese Association of Crystal Growth 巻 34, 号 4, p. 201-206, 発行日 2008 |
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| 年月次 | ||||||
| 値 | 2008-1 | |||||
| 出版者名 | ||||||
| 出版者 | 日本結晶成長学会 | |||||
| 収録物識別子 | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03856275 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 有機金属気相エピタキシー法による閃亜鉛鉱構造GaNのエピタキシャル成長および分子線エピタキシー法による閃亜鉛鉱構造InNのエピタキシャル成長に関する研究について紹介する.閃亜鉛鉱構造GaNの結晶成長ではV/III比を下げ,成長温度を高くすることによって高品質な閃亜鉛鉱構造GaNが得られることがわかった.ウルツ鉱構造GaNは{111}ファセット上に成長しやすい傾向にあるため,(001)面を保ったまま成長することによりウルツ鉱構造の混入を抑制することができる.閃亜鉛鉱構造InNの結晶成長においてもV/III比を下げ,成長温度を高くすることで純度の高い高品質な閃亜鉛鉱構造InNを得ることができた.このように,高純度かつ高品質な閃亜鉛鉱構造窒化物半導体を成長するためには,低いV/III比,高い成長温度,平坦な表面という条件が重要である. Metalorganic vapor phase epitaxy of zincblende GaN and molecular beam epitaxy of zincblende InN are presented. High quality zincblende GaN can be grown under the condition of low V/III ratio and high growth temperature. Since wurtzite GaN tends to grow on {111} facets of zincblende GaN, it is important for preventing the mixing of wurtzite to maintain the (001) surface of zinblende during growth. High purity and high quality zincblende InN also can be grown under the condition of low V/III ratio and high growth temperature. Thus, low V/III ratio, high growth temperature and flat surface are keys to epitaxial growth of high purity and high quality zincblende nitride semi-conductors. |
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| 注記 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | rights: 日本結晶成長学会 rights: 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである relation: IsVersionOf: http://ci.nii.ac.jp/naid/110006611797/ |
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| 版 | ||||||
| 値 | [出版社版] | |||||
| 出版タイプ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | text | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 作成日 | ||||||
| 日付 | 2009-09-30 | |||||
| 日付タイプ | Created | |||||
| アイテムID | ||||||
| 値 | A1003560 | |||||
