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アイテム
SiC基板のダイヤモンドスラリーによる加工特性(第3報)
https://doi.org/10.24561/00016779
https://doi.org/10.24561/00016779b2459f7d-9b9a-4e67-a89f-f48cbab8d6fa
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KY-AA11808968-07-02.pdf (637.1 kB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2009-03-03 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | SiC基板のダイヤモンドスラリーによる加工特性(第3報) | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
ID登録 | ||||||
ID登録 | 10.24561/00016779 | |||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||
タイトル(別言語) | ||||||
その他のタイトル | Study of Diamond Slurries on Polishing of SiC Substrate | |||||
著者 |
浜元, 伸二
× 浜元, 伸二× 土肥, 俊郎× 尾形, 謙次郎 |
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著者 ローマ字 | ||||||
値 | Hamamoto, Shinji | |||||
著者 ローマ字 | ||||||
値 | Doi, Toshiro | |||||
著者 ローマ字 | ||||||
値 | Ogata, Kenjiro | |||||
著者 所属 | ||||||
値 | ユシロ化学工業株式会社 | |||||
著者 所属 | ||||||
値 | 埼玉大学教育学部機械技術研究室 | |||||
著者 所属 | ||||||
値 | 埼玉大学教育学部機械技術研究室 | |||||
著者 所属(別言語) | ||||||
値 | Yushiro Chemical Industry Co., Ltd. | |||||
著者 所属(別言語) | ||||||
値 | Mechanical Engineering Lab.,Faculty of Education,Saitama University | |||||
著者 所属(別言語) | ||||||
値 | Mechanical Engineering Lab.,Faculty of Education,Saitama University | |||||
書誌情報 |
埼玉大学地域共同研究センター紀要 en : Report of Cooperative Research Center, Saitama University 巻 7, p. 5-6, 発行日 2007 |
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年月次 | ||||||
値 | 2006 | |||||
出版者名 | ||||||
出版者 | 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学連携推進部門 | |||||
収録物識別子 | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 13474758 | |||||
資源タイプ | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | text | |||||
フォーマット | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | application/pdf | |||||
作成日 | ||||||
日付 | 2009-03-02 | |||||
日付タイプ | Created | |||||
アイテムID | ||||||
値 | KY-AA11808968-07-02 |