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アイテム
SiC基板のダイヤモンドスラリーによる加工特性（第３報）
https://doi.org/10.24561/00016779
https://doi.org/10.24561/00016779b2459f7d-9b9a-4e67-a89f-f48cbab8d6fa
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KY-AA11808968-07-02.pdf (637.1 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-03-03 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | SiC基板のダイヤモンドスラリーによる加工特性（第３報） | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||||||
| ID登録 | 10.24561/00016779 | |||||||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||||||
| タイトル（別言語） | ||||||||||||||||||
| その他のタイトル | Study of Diamond Slurries on Polishing of SiC Substrate | |||||||||||||||||
| 著者 |
浜元, 伸二
× 浜元, 伸二
× 土肥, 俊郎
× 尾形, 謙次郎
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| 著者 ローマ字 | ||||||||||||||||||
| 値 | Hamamoto, Shinji | |||||||||||||||||
| 著者 ローマ字 | ||||||||||||||||||
| 値 | Doi, Toshiro | |||||||||||||||||
| 著者 ローマ字 | ||||||||||||||||||
| 値 | Ogata, Kenjiro | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | ユシロ化学工業株式会社 | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | 埼玉大学教育学部機械技術研究室 | |||||||||||||||||
| 著者 所属 | ||||||||||||||||||
| 値 | 埼玉大学教育学部機械技術研究室 | |||||||||||||||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||||||||||||||
| 値 | Yushiro Chemical Industry Co., Ltd. | |||||||||||||||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||||||||||||||
| 値 | Mechanical Engineering Lab.，Faculty of Education，Saitama University | |||||||||||||||||
| 著者 所属(別言語) | ||||||||||||||||||
| 値 | Mechanical Engineering Lab.，Faculty of Education，Saitama University | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
埼玉大学地域共同研究センター紀要 en : Report of Cooperative Research Center, Saitama University 巻 7, p. 5-6, 発行日 2007 |
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| 年月次 | ||||||||||||||||||
| 値 | 2006 | |||||||||||||||||
| 出版者名 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学連携推進部門 | |||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 13474758 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | text | |||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||
| 作成日 | ||||||||||||||||||
| 日付 | 2009-03-02 | |||||||||||||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||||||||||||
| アイテムID | ||||||||||||||||||
| 値 | KY-AA11808968-07-02 | |||||||||||||||||
