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Fast growth of microcrystalline silicon thin-films from dichlorosilane by the high-density microwave plasma source using the spoke antenna for Si thin-film solarcells
https://sucra.repo.nii.ac.jp/records/9634
https://sucra.repo.nii.ac.jp/records/963440599efc-1b5b-4bf4-8b03-99411976d67e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
GD0000023.pdf (720.7 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2008-10-24 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Fast growth of microcrystalline silicon thin-films from dichlorosilane by the high-density microwave plasma source using the spoke antenna for Si thin-film solarcells | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | eng | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| タイトル（別言語） | ||||||||
| タイトル（別言語） | ||||||||
| その他のタイトル | 薄膜太陽電池応用のための高密度マイクロ波プラズマ源によるジクロロシラン系からの微結晶シリコン薄膜の高速形成に関する研究 | |||||||
| 著者 |
JHANTU, KUMAR SAHA
× JHANTU, KUMAR SAHA
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| 著者 ローマ字 | ||||||||
| 値 | JHANTU, KUMAR, SAHA | |||||||
| 著者 所属 | ||||||||
| 値 | 埼玉大学大学院理工学研究科 | |||||||
| 著者 所属（別言語） | ||||||||
| 値 | Graduate School of Science and Engineering, Saitama University | |||||||
| 書誌 | ||||||||
| 収録物名 | 埼玉大学大学院理工学研究科博士学位論文 : 論文内容の要旨及び論文審査の結果の要旨 | |||||||
| 書誌情報 | 巻 34, p. 46-49, 発行日 2008 | |||||||
| 出版者名 | ||||||||
| 出版者 | 埼玉大学大学院理工学研究科 | |||||||
| 識別番号 その他 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 学位記号番号: 博理工甲第667号 | |||||||
| 注記 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 博士の専攻分野の名称 : 博士(学術) 学位授与年月日 : 平成20年3月24日 |
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| その他の言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | text | |||||||
| フォーマット | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||
| 作成日 | ||||||||
| 日付 | 2008-10-24 | |||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||
| アイテムID | ||||||||
| 値 | GD0000023 | |||||||
